Mesin Lithography Mask Aligner Photo-Etching Machine
introduksi produk
Sumber cahya cahya nganggo modul UV LED lan sumber cahya sing diimpor, kanthi panas cilik lan stabilitas sumber cahya sing apik.
Struktur lampu kuwalik nduweni efek boros panas sing apik lan efek cedhak sumber cahya, lan panggantos lan pangopènan lampu merkuri prasaja lan trep.Dilengkapi karo mikroskop teropong dual perbesaran dhuwur lan LCD layar lebar 21 inci, bisa didadekake visual liwat
eyepiece utawa tampilan CCD +, karo akurasi alignment dhuwur, proses intuisi lan operasi trep.
Fitur
Kanthi fungsi pangolahan fragmen
Tekanan kontak leveling njamin pengulangan liwat sensor
Kesenjangan keselarasan lan kesenjangan cahya bisa disetel kanthi digital
Nggunakake komputer sing dipasang + operasi layar tutul, prasaja lan trep, ayu lan loman
Narik jinis piring munggah lan mudhun, prasaja lan trep
Ndhukung paparan kontak vakum, eksposur kontak keras, eksposur kontak tekanan lan eksposur jarak
Kanthi fungsi antarmuka nano imprint
Paparan lapisan tunggal kanthi siji tombol, otomatisasi tingkat dhuwur
Mesin iki nduweni linuwih lan demonstrasi sing trep, utamane cocok kanggo piwulangan, riset ilmiah lan pabrik ing Colleges lan universitas.
rincian liyane
Spesifikasi
1. Area pajanan: 110mm × 110mm;
2. ★ Dawane gelombang cahya: 365nm;
3. Resolusi: ≤ 1m;
4. Akurasi Alignment: 0.8m;
5. Ing sawetara gerakan saka Tabel mindhai saka sistem Alignment bakal paling ketemu: Y: 10mm;
6. Tabung lampu kiwa lan tengen sistem alignment bisa mindhah kanthi kapisah ing arah X, y lan Z, arah X: ± 5mm, arah Y: ± 5mm lan arah Z: ± 5mm;
7. Ukuran topeng: 2,5 inci, 3 inci, 4 inci, 5 inci;
8. Ukuran sampel: pecahan, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Cocog kanggo kekandelan sampel: 0.5-6mm, lan bisa ndhukung bêsik sampel 20mm paling (selaras);
10. Mode cahya: wektu (mode mundur);
11. Non uniformity saka cahya: < 2,5%;
12. Dual lapangan CCD alignment mikroskop: lensa zoom (1-5 kaping) + mikroskop lensa obyektif;
13. Stroke gerakan topeng relatif marang sampel kudu paling sethithik: X: 5mm;Y: 5 mm;: 6º；
14. ★ Kapadhetan energi cahya: > 30MW / cm2,
15. ★ Posisi alignment lan posisi cahya bisa ing rong stasiun, lan loro stasiun servo motor ngalih kanthi otomatis;
16. Leveling meksa kontak njamin repeatability liwat sensor;
17. ★ Longkangan Alignment lan longkangan cahya bisa disetel digital;
18. ★ Nduwe antarmuka jejak nano lan antarmuka jarak;
19. ★ Operasi layar tutul;
20. Sakabèhé dimensi: About 1400mm (dawa) 900mm (jembaré) 1500mm (dhuwur).
