Mesin Litografi Mesin Aligner Masker Mesin Foto-Etsa
Pambuka produk
Sumber cahya eksposur nggunakake LED UV impor lan modul mbentuk sumber cahya, kanthi panas sing sithik lan stabilitas sumber cahya sing apik.
Struktur lampu sing diwalik nduweni efek disipasi panas sing apik lan efek nutup sumber cahya, lan panggantos lan pangopènan lampu merkuri gampang lan trep. Dilengkapi mikroskop medan ganda teropong pembesaran dhuwur lan LCD layar amba 21 inci, bisa disejajarkan sacara visual liwat
lensa mata utawa tampilan CCD +, kanthi akurasi alignment sing dhuwur, proses intuitif lan operasi sing trep.
Fitur-fitur
Kanthi fungsi pangolahan fragmen
Tekanan kontak leveling njamin pengulangan liwat sensor
Celah alignment lan celah exposure bisa disetel kanthi digital
Nggunakake komputer sing dipasang + operasi layar tutul, prasaja lan trep, ayu lan loman
Tarik jinis piring munggah lan mudhun, prasaja lan trep
Ndhukung paparan kontak vakum, paparan kontak keras, paparan kontak tekanan lan paparan jarak
Kanthi fungsi antarmuka nano imprint
Paparan lapisan tunggal kanthi siji tombol, otomatisasi tingkat dhuwur
Mesin iki nduweni linuwih sing apik lan demonstrasi sing trep, utamane cocok kanggo pengajaran, riset ilmiah lan pabrik ing Kampus lan universitas.
Rincian liyane
Spesifikasi
1. Area paparan: 110mm × 110mm;
2. ★ Dawane gelombang paparan: 365nm;
3. Resolusi: ≤ 1m;
4. Akurasi panyelarasan: 0.8m;
5. Rentang gerakan meja pemindaian sistem alignment paling ora kudu memenuhi: Y: 10mm;
6. Tabung lampu kiwa lan tengen saka sistem alignment bisa obah kanthi kapisah ing arah X, y lan Z, arah X: ± 5mm, arah Y: ± 5mm lan arah Z: ± 5mm;
7. Ukuran topeng: 2,5 inci, 3 inci, 4 inci, 5 inci;
8. Ukuran sampel: fragmen, 2", 3", 4";
9. ★ Cocok kanggo kekandelan sampel: 0.5-6mm, lan bisa ndhukung potongan sampel paling akeh 20mm (disesuaikan);
10. Mode eksposur: wektu (mode hitungan mundur);
11. Ora seragame cahya: <2,5%;
12. Mikroskop penjajaran CCD medan ganda: lensa zoom (1-5 kali) + lensa objektif mikroskop;
13. Gerakan topeng relatif marang sampel paling ora kudu ketemu: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º；
14. ★ Kapadhetan energi paparan: > 30MW / cm2,
15. ★ Posisi alignment lan posisi exposure bisa digunakake ing rong stasiun, lan motor servo rong stasiun bisa ganti kanthi otomatis;
16. Tekanan kontak leveling njamin pengulangan liwat sensor;
17. ★ Celah perataan lan celah paparan bisa disetel kanthi digital;
18. ★ Nduweni antarmuka nano imprint lan antarmuka proximity;
19. ★ Operasi layar tutul;
20. Dimensi sakabèhé: Kira-kira 1400mm (dawa) 900mm (jembar) 1500mm (dhuwur).
